Научная программа конференции предусматривает следующие секции:

1. Диагностика полупроводниковых материалов и структур.

2. Характеризация материалов и структур методами ПЭМ и РЭМ.

3. Сканирующая зондовая микроскопия и зондовая нанолитография.

4. Электронно-лучевая и ионная литографии.

5. Электронно-лучевые технологии в микроэлектронике.

6. Рентгеновская кристаллооптика.

7. Многослойная оптика для рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазона.

8. Применение рентгеновской оптики для исследования микро- и наноструктур.

9. Рентгеновская микроскопия и томография.

10. Новые методы исследования микро- и наноструктур с использованием
     синхротронных и лабораторных источников рентгеновского излучении.

Программа конференции.

Fax: (+7 496 52) 4 41 68
E-mail: alina@iptm.ru