главная .  новости .  программа .  регистрация .  оргвзнос .  оргкомитет .  участники .  тезисы .  организаторы .  архивы .  черноголовка .  гостиница .  спонсоры

 

   English

 

   ИПТМ РАН
   Черноголовка 
  
2021

 

конференция


Объединённая конференция "Электронно-лучевые технологии и рентгеновская оптика в микроэлектронике" посвящена анализу состояния исследований и разработок в области электронно- и ионно-лучевых технологий, зондовой микроскопии, рентгеновской оптики и их применений в наноструктурировании поверхности, литографии и получении материалов для микро- и наноэлектроники.

Организаторы:

ФГБУН ИПТМ РАН г. Черноголовка и АО "НИИМЭ" г. Москва, Зеленоград.

Даты проведения:

С 13 по 17 сентября 2021 года.

Место проведения.

г. Черноголовка, Московская обл., ул. Академика Осипьяна д. 6, ФГБУН Институт проблем технологии  микроэлектроники и особочистых материалов РАН (ИПТМ РАН).

Условия участия.

Для участия в конференции необходимо зарегистрироваться и прислать написанную в произвольной форме аннотацию объёмом 0,5 стр. для отбора докладов программным комитетом до 15 мая 2021 года и оправить ее по адресу giza@iptm.ru  Внимание! Прием аннотаций продлен до 15 мая.


Авторам отобранных докладов будет предоставлена возможность написать расширенные тезисы в сборник, который будет издан к началу работы конференции. Текст объёмом 1-3 стр. формата А4 должен быть подготовлен в строгом соответствии с правилами и загружен не позднее 1 июля 2021 года.

Тезисы, которые будут высланы после указанного срока, в сборник трудов конференции не войдут.

Планируется публикация работ, представленных на конференции, в журналах "Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования", "Микроэлектроника".

Важные даты:  

До 15 мая 2021г. - прислать аннотацию.
До 1 июля 2021г. - прислать тезисы для сборника.  
13-17 сентября 2021г. - работа конференции.

Участники конференции от оплаты оргвзноса освобождаются.

 

 

horizontal rule


Секретариат:
 
Казьмирук Лидия Александровна
Tel:  ( 8  496 52) 4 42 19
Fax: (+7 496 52) 4 41 68
E-mail:
giza@iptm.ru          
          
Осипова Галина Юрьевна
Tel:  ( 8  496 52) 4 42 53

Fax: (+7 496 52) 4 41 68
E-mail: alina
@iptm.ru   
 

 

 

 

 

 

      
     


Федеральное государственное бюджетное учреждение науки

Институт Проблем Технологии Микроэлектроники и Особочистых Материалов Росийской Академии Наук
(ИПТМ РАН)

Last updated: 28.04.21