Публикации 2010 г.

Название, автор, научный руководитель Кол-во стр. Файл

"Электронная литография структур с суб-100нм разрешением"
Двойнишников Д.А. , науч. рук. - к.т.н., Ильин А.И.

44 pdf(2.3Mb)

 
 

   

 
 

   
Название, автор, научный руководитель. Кол-во стр. Файл

 
 

   
Название, автор, научный руководитель.

Кол-во стр.

Файл