конференция
|
Объединённая конференция "Электронно-лучевые технологии и
рентгеновская оптика в микроэлектронике" посвящена анализу
состояния исследований и разработок в области электронно- и
ионно-лучевых технологий, зондовой микроскопии, рентгеновской оптики
и их применений в наноструктурировании поверхности, литографии и
получении материалов для микро- и наноэлектроники. |
Конференция проводится при поддержке
Министерства науки и высшего образования Российской Федерации,
грант
N 075-15-2020-791. |
|
Организаторы:
ФГБУН
ИПТМ РАН г. Черноголовка и
АО
"НИИМЭ"
г. Москва,
Зеленоград. |
|
Даты проведения:
С 13 по 17
сентября 2021 года. |
|
Место проведения.
г. Черноголовка,
Московская обл., ул.
Академика Осипьяна д. 6, ФГБУН
Институт проблем технологии микроэлектроники и
особочистых материалов РАН
(ИПТМ РАН). |
|
Внимание участникам!
Конференция будет проводиться в очном режиме: в конференц-зале ИПТМ
РАН,
г. Черноголовка. Участники с устными докладами, у которых не
будет возможности
присутствовать лично, смогут представить доклад в режиме
видеоконференции. Ссылки на видеоконференции zoom находятся на сайте
по адресу: http://purple.iptm.ru/cebt/news.htm
Для стендовых докладов режим "онлайн" не предусмотрен. |
Внимание участникам!
ТЕЗИСЫ ДОКЛАДОВ
размещены на сайте по адресу: http://purple.iptm.ru/cebt/2021.pdf |
|
Условия участия.
Для участия в
конференции необходимо
зарегистрироваться и прислать
написанную в произвольной форме аннотацию объёмом 0,5 стр. для отбора
докладов программным комитетом до 15 мая 2021 года и оправить
ее по адресу
giza@iptm.ru
Внимание!
Прием аннотаций
продлен до 15 мая.
Авторам отобранных
докладов будет предоставлена возможность написать расширенные тезисы
в сборник, который будет издан к началу работы конференции. Текст
объёмом 1-3 стр. формата А4 должен быть подготовлен в строгом
соответствии с правилами и загружен не позднее 1 июля 2021 года.
Тезисы, которые будут
высланы после указанного срока, в сборник трудов конференции
не войдут.
Планируется публикация
работ, представленных на конференции, в журналах "Поверхность. Рентгеновские,
синхротронные и нейтронные исследования",
"Микроэлектроника". |
|
Важные даты:
До 15 мая 2021г. -
прислать аннотацию.
До 1 июля 2021г. - прислать тезисы для сборника.
Прием тезисов открывается с 31 мая.
13-17 сентября 2021г. - работа конференции. |
Внимание!
Подробная информация
для тех, кто собирается делать устные доклады
в программе Zoom. |
|
Внимание!
Программа конференции.
|
|
Участники конференции
от оплаты оргвзноса освобождаются. |
|
Внимание!
Опубликован
список
принятых
докладов. |
|
Секретариат:
Казьмирук Лидия
Александровна
Tel:
( 8 496 52) 4
42 19
Fax: (+7 496 52) 4
41 68
E-mail:
giza@iptm.ru
Осипова Галина Юрьевна
Tel:
( 8 496 52) 4
42 53
Fax: (+7
496 52) 4 41 68
E-mail:
alina@iptm.ru
Конференция будет проводиться в очном режиме: в конференц-зале ИПТМ
РАН, г. Черноголовка. Участники с устными доклами, которые не смогут
присутствовать лично, могут представить доклад в режиме
видеоконференции. Ссылки на видеоконференции zoom находятся на сайте
по адресу:
http://purple.iptm.ru/cebt/news.htm
Для стендовых докладов режим 'онлайн' не предусмотрен.
|
ИПТМ
РАН